二手 ASML PAS 5500 / 80 #9194835 待售

ASML PAS 5500/80晶圆步进器是生产半导体产品的尖端工具。它非常适合中小型项目,能够准确执行光学模具步进和光照过程,以满足极其严格的生产要求。该设备采用高度集成和紧凑的双场光学系统设计。这样就可以对动态模具级别进行成像,而无需移动晶片,从而提高了生产效率并提高了结果。ASML PAS 5500/80晶片步进器配备了最先进的抗污染管理单元，以确保高精度、稳定运行。该机提供了一个大范围的步长和重复成像，以实现复杂的模式，最大场大小80×80毫米。它与多种湿法和干法兼容，使其用途十分广泛，可用于1X、1.5X、2X和4X曝光等光刻工艺。PAS5500/80晶圆步进器具有自动聚焦和自动对准功能,以及用于控制过程环境的高级环境感测机。它能够在底物温度较低的情况下实现精确曝光,其快速的吞吐量能力使其非常适合大批量生产过程。该工具还包括用于稳定抵抗和污染管理的高度精确的偏转测量资产。这有助于确保整个制造过程的准确性。晶片步进器在其设计中包含了额外的保护措施,例如针对冗余程序的保护、错误的程序选择以及与过程相关的事故。ASML PAS5500/80晶片步进模型设计用于至少1级的洁净室,具有极低的噪音水平和恒定的电源。它能够实时优化生产过程,并且可以集成到工厂自动化设备中。其用户友好的设计使其非常适合任何经验级别的工程师。