二手 ASML PAS 5500 / 80B #293817852 待售
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ID: 293817852
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.48
Resolution: 500 nm
DCO: 60
Throughput (WPH): 70.
ASML PAS 5500/ 80B是荷兰公司ASML制造的一种先进的晶圆步进系统。它专为光刻工艺而设计,已成为微芯片生产的重要组成部分。这种晶片步进器允许将高度精确的图像输出到薄半导体晶片上。该系统由投影透镜、晶圆传输和光学表等几个主要组件组成。投影透镜产生狭窄的光束,由传输和光学表偏转到晶片上。透镜的对准由系统不断校准,以确保最佳成像。晶片步进器每个晶片最多可成像10,000个单独的曝光场,曝光时间为2-3秒。这使得生产的吞吐量很高,最高速度为每小时6个晶圆。5500/ 80B还具有每场1568 x 2088像素的分辨率,可提供卓越的成像精度。5500/ 80B是一台极其可靠的机器,提供可重复且一致的生产运行。这些镜片具有出色的球面像差校正性能,旨在产生尽可能高质量的图像。它还提供了温和的晶圆处理,能够做出微妙的调整和防止污染。晶片步进器的用户界面非常方便用户,并且可以完全控制其所有功能。借助直观的软件和符合人体工程学的图形用户界面,用户可以轻松创建和修改感光蒙版图桉。PAS 5500/ 80B是一款出色的机械,提供卓越的成像精度和速度。它非常可靠和耐用,确保随时可以继续使用。该机器还提供出色的客户支持,技术人员在遇到任何问题时随时随地进行呼叫。
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