二手 ASML PAS 5500 / 850 #9186902 待售

ASML PAS 5500/850是晶圆步进器的一种，用于半导体制造过程。它用于在晶圆的顶面上重复成像图样，通常用于生产集成电路。PAS 5500/850采用先进光学、高精度定位系统和精确晶圆操纵机制的组合，将模具成像到半导体晶圆上。该设备包括一个预对准器和一个对准器，以及一个扫描镜和光圈透镜，与基于激光的无掩码源和探测器配合使用。预对准器用于晶片上模具的精确定位，使用激光和图像识别。预对齐器还用于检测模具缺陷。利用伺服驱动控制系统，对准器实现了更高的精度。扫描镜和光圈透镜用于协调光学装置与无掩码源和检测图样。ASML PAS 5500/850还配备了多种设置和控制功能。它具有很高的精确度，可以使模具与晶圆上的图样精确对准。它还具有抗反射涂层的特点，以减少晶片表面的光反弹。此外,该单元还包括一个自动聚焦功能,可自动调整图像聚焦,从而实现更高的图像分辨率。对于光刻等过程，机器带有一个附加模块，该模块连接到步进器。该模块负责开发抗蚀剂，用于将图样从掩模转移到晶片上。此外,PAS 5500/850能够支持多种晶圆尺寸,该工具包括用于调整所需暴露剂量的算法,以保持不同尺寸晶圆的一致结果。总体而言,ASML PAS 5500/850晶圆步进器是半导体行业必不可少的硬件。它结合了多种系统和技术，为集成电路生产提供了可靠、准确的成像工艺。半导体制造商利用先进的光学设备、精确的定位、自动聚焦和可调节的曝光剂量,能够制造高质量的电子元件。