二手 ASML PAS 5500 / 850C #293817849 待售

ASML PAS 5500/ 850C是一种高精度、高生产率的晶圆步进器。它的设计和建造是为了满足当今半导体制造商日益增长的需求。它非常适合生产集成电路、内存芯片以及其他各种复杂的晶圆级IC。该850C采用专有光束光刻设备，包括投影光学单元和高级扫描阶段。它使用低kV、高数值光圈（NA）镜头提供卓越的分辨率，使芯片布局即使在复杂的晶圆处理过程中也能保持其完整性。此外,高强度光源可确保最高的吞吐量和最佳的成像效果。该850C利用了大量缺陷过程检测工具，包括航空图像检测、自动故障分析和模内故障检测。在晶片检查过程中，获得专利的"QuadTech"系统对任何过程引起的缺陷以及与光刻过程相关的任何异常进行IC评估。此外,设备的集成边缘检测工具能够快速检测不良边缘。在精度方面，850C采用1 nm步长分辨率和+/-75 nm线性精度的位移编码器。集成的自动对焦机还有助于提供最佳的晶片平整度，从而最大限度地减少未对准或晶片表面扭曲轮廓的影响。为了提供坚固和长期的性能,850C采用了扩展的转速选项,这有助于确保可靠和一致的结果,即使在处理高功率芯片或困难的布局几何形状时也是如此。此外,其直观的用户界面和过程监控功能可方便地进行故障排除和跟踪产量。总体而言,PAS 5500/ 850C是一种可靠的高端晶圆步进器,可提供卓越的分辨率、无可挑剔的缺陷检测和长期性能。这是一个完美的高科技产业设备，要求质量的结果与更短的周转时间。