二手 ASML PAS 5500 / 850D #293817847 待售

ASML PAS 5500/ 850D是一种用于半导体器件制造和光刻加工的最先进的晶圆步进器。它具有双级光学设备和大量可选的光学配置,可实现多种晶圆成像功能。该系统使用先进的光学元件，能够实现高精度和可重复性，包括微光刻，以及极紫外线（EUV）光照。该装置的设计使其成为执行光刻的最高效、最强大的工具之一,使其成为要求苛刻的半导体器件的理想解决方桉。基本机器由两个阶段组成：一个扫描阶段，扫描掩模以投射所需的模式；另一个暴露阶段，晶圆通过掩模暴露于紫外线。刀具的五轴运动级提供高达1微米的运动精度，允许精确的光束对准，即使在最高分辨率水平。该资产利用多个高级功能来提高图像质量和减少成像时间。它具有超高分辨率光电探测器,可确保准确的数据收集和后续处理。它还具有坚固的EUV光源，能够为高长宽比（HAR）图样和深紫外线成像提供正确的能量。液晶显示器（LCD）投影模型为操作员提供视觉反馈，便于操作和调整，以确保准确和可重复的结果。设备使用自动化材料处理系统来管理整个成像过程中的晶片和掩码。这包括用于晶片装卸的集成系统，以及将样品和口罩转移到曝光阶段的机器人。此外，还提供全面的软件解决方桉，以控制、管理和监测阵容、镜头选择、图桉、曝光和其他操作参数。PAS 5500/ 850D是一种通用工具，可用于多种不同的应用，如单掩模成像、双掩模成像、短晶圆挑战、模式迭加等等。该系统非常适合商业、工业和研究环境，提供快速和准确的结果，以协助复杂的光刻工艺。无论目标是生产高性能芯片,还是探索新的平版印刷功能,ASML PAS 5500/ 850D都具有交付能力。