二手 ASML PAS 5500 / 850D #293820736 待售

ASML PAS 5500/ 850D是一个强大的晶圆步进器，结合了先进的光学光刻能力和先进的运动控制技术。PAS 5500/ 850D包含超高数值孔径（NA）光学设备，提供卓越的光学性能，以及集成的运动控制系统。光学单元采用193nm KrF准分子激光器，提供极高的分辨率，NA值可达0.74。光学机器包括像差校正器，允许在整个晶片表面进行最佳聚焦。光学工具还包括抗反射表面涂层，用于减少反射激光和增加晶圆通量。ASML PAS 5500/ 850D的运动控制资产利用步进电机、伺服电机和驱动电子设备的组合来精确定位舞台，并保持在+/-1 µm以内的位置。步进电机由数字信号处理器驱动,位置精度高达0.1µm。伺服电动机为对准模型提供线性和旋转运动，并沿着一组导轨跟踪舞台。传动电子包括一个直接传动数字放大器，提供了最高的精度和功率效率。PAS 5500/ 850D还具有用户友好的控制设备和图形用户界面。此界面允许用户轻松配置系统设置，以及监控设备的设置和实时性能。ASML PAS 5500/ 850D是一种用途非常广泛的晶圆步进器,为各种光刻应用提供卓越的分辨率和准确性。它是现代半导体研究和生产环境的顶级选择。