二手 ASML PAS 5500 / 90 #293817842 待售

ASML PAS 5500/90是一种先进的基于激光的晶圆步进系统。这种步进器作为光子束光刻工具，利用高功率的氙激光器在半导体晶片上创建纳米级结构。它允许物体（在晶圆上）的高精度对准和移动，分辨率高达0.7微米。PAS 5500/90装在高真空直立的外壳中，以便改进光子收集，并由能减少振动和保持微观精度的坚固材料制成，以达到最佳晶圆性能。步进器包含两个主要组件：散射束发生器（SBG）和晶圆保持系统（WHS）。SBG位于单元底部，将一束电子束投射到晶圆表面。位于单元顶部的WHS负责通过电动线性和圆形运动来保持和精确移动晶片，从而允许用激光束蚀刻错综复杂的图桉。ASML PAS 5500/90可用于构建微观特征和电路,如逻辑电路、MEM和晶片上的晶体管。它能够创建形状各异的精细图桉，如圆、正方形和多边形，最小线宽为0.7微米。医疗和听力/语音技术应用中使用的麦克风阵列也可以用这台机器创建。为确保精度,步进器采用了一种称为图像变换算法（ITA）的算法。该算法使步进器能够在晶圆上以最小的曝光后计算精确预测和创建所需的模式。凭借其卓越的精度，PAS 5500/90可以作为3D打印等先进纳米技术的可靠工具。ASML PAS 5500/90专为快速、易于设置和易于维护而设计,最大限度地减少了用户的停机时间。它提供了带有触摸屏控制的直观用户界面，允许操作员根据需要快速调整设置和参数。PAS 5500/90通过其先进的功能和坚固的设计,在制造精细纳米结构和设备方面提供了卓越的性能。