二手 ASML PAS 5500 #9050378 待售

ASML PAS 5500是一款高性能的光学投影扫描仪，用于半导体工业生产先进的微电子器件。它是流行的PAS 5000系列的高端版本，为高级、高分辨率晶圆步进器量身定制。PAS 5500带有一个内置的先进光源，能够产生广泛的曝光波长和精确、稳定的强度，以用于更高分辨率的应用。爆破投影机头装有三个独立调节的源点（SP's）。这些功能允许改进聚焦功能,从而使最终产品的特征尺寸和形状更加均匀。采用全场图像掩码装置对准目标区域，快速移动到位，使晶圆放置更快、更准确。ASML PAS 5500采用高分辨率5英寸传感器，允许精确操作。它设计为无维护,可以轻松升级以满足市场上不断增长的需求。PAS 5500具有出色的线宽控制、极低的模式失真和图像噪声。这使得它成为高端生产工艺的理想选择。该系统还包括一个高精度的控制块，其目的是确保晶圆的准确和可靠的曝光。它包含多个传感器，用于测量光束的强度和标线的对准。此软件还可以校正模式变化（CPV）,并校正晶圆制造过程中可能发生的任何级别错误。ASML PAS 5500是一种可靠的高性能晶圆步进器,可提供精确的对齐、高均匀性和出色的线宽控制。它非常适合要求苛刻的生产过程,并且易于适应新的要求,因此适合各种应用程序。