二手 ASML S1250D #9267433 待售
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ASML S1250D是一种在半导体工业中广泛使用的高端晶圆步进器。该设备旨在快速、准确地将光刻胶暴露于紫外线辐射中,目的是生产高质量产量的高性能半导体器件。S1250D采用135毫米(5.3英寸)扫描仪,数值孔径为0.72,k1分辨率为0.86-0.88,范围为310-365纳米。这使它具有卓越的成像能力和吞吐量。ASML S1250D采用了一种真正创新的模块化设计方法,使用户能够根据自己的特定需求定制系统。模块可以很容易地换出,以便增加或移除额外的光掩模检查能力、光刻晶片对准和多个投影仪单元等功能,以提高曝光能力。此外,S1250D利用双源场,允许用户在不同的曝光能量和角度之间交替,以优化成像过程。该单元配备了多种硬件和软件元件,它们协同工作,以便为操作员提供最高水平的性能和准确性。硬件包括激光对齐的掩模台和超高分辨率投影镜头。软件套件包括对齐机、校准模块和用户友好界面。这使用户能够轻松地操作参数和管理机器的进程,以及跟踪结果。除了先进的成像功能外,ASML S1250D还具有多种其他高级功能,有助于设备的生产和质量控制过程。它包括废料消除、零缺陷检测、自动曝光调制等独特功能。这使用户能够始终优化其设备的吞吐量和准确性,同时仍将目标对准零缺陷结果。S1250D是一种强大可靠的晶圆步进器,可用于生产具有最大收率的高性能半导体器件。它的模块化设计方法和先进的技术可确保用户从其设备中获得最高级别的性能,其强大的用户界面和软件套件可确保易用性并跟踪结果。此外,它先进的废料消除、零缺陷检测、自动曝光调制等特点保证了每次的优化效果。
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