二手 ASML Twinscan 1700i #293645775 待售

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ID: 293645775
Immersion scanner Wavelength: 45 nm.
ASML Twinscan 1700i是一种用于半导体生产的高端晶圆步进器。它是一种先进的生产系统,能够以高精度和高速度将微芯片和其他组件对准硅片表面。步进器配备了强大的光学元件,并使用极紫外线(EUV)光刻技术进行最精确的蚀刻和成像工艺。Twinscan 1700i的设计目的是减少曝光时间,从而减少对正在加工的细腻电路和基板的热损坏。它能够在两种环境中操作:空气或真空。在空气中操作时,它可以利用干燥扫描能力,这有助于限制水分、灰尘和灰尘对晶片的影响。此功能还提供了卓越的成像精度和最快的吞吐量。这台先进的机器由强大的计算机系统和高度可配置的自动化技术驱动。它具有四个用于阶段扫描、AFM和KFK扫描的线性轴,以及一个可配置的旋转轴。它能够扫描到3-D分辨率为0.1 um(10纳米),可重复性为0.05 um。它还具有高达25毫米/秒的最大对准级速度和1300毫米的最大聚焦范围。Twinscan能够处理直径高达8英寸的晶片,每小时高达300晶片。它还具有多项确保正常运行的先进安全功能,如激光安全快门、可编程安全互锁、警示灯等。所有这些功能的结合使ASML Twinscan 1700i有潜力显着提高半导体器件生产的产量。
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