二手 ASML Twinscan AT 1100 #9193540 待售

ASML Twinscan AT 1100是一种高精度晶圆步进器，由ASML製造，旨在支援製造複杂、高解析度的集成电路晶片。该AT1100是一种高度可配置和可扩展的步进器,能够支撑直径从50毫米到200毫米不等的基板。该AT1100采用小巧、用户友好的设计,并配备了多种先进的光机械元件和功能,非常适合大批量制造操作。配备精确基板定位的5轴扫描台、标线测量设备、高分辨率相机和先进照明系统。该AT1100具有高度自动化和符合人体工程学的特点。该单元兼容全系列晶圆处理程序和多个晶圆尺寸，以及一系列高压和低压处理模块。它能够提供卓越的光学性能,测量分辨率为5 nm。此外,AT1100还配备了先进的DUV扫描仪,波长范围为248 nm和193 nm。它还配备了先进的F2光学机器，以及可重复性为0.36 μ m的高速、高精度4轴级。广泛的软件套件使用户可以完全控制扫描过程,从而优化整个操作。AT1100晶片步进器用途广泛,能够提供高精度成像和卓越的吞吐量。它易于使用,非常适合高质量组件和快速循环时间至关重要的工业应用。该工具的高级功能和最佳性能使其成为目前市场上最可靠、最经济高效的晶圆步进器之一。