二手 ASML Twinscan AT 1100 #9360842 待售

ASML Twinscan AT 1100是为半导体器件生产而设计的两束晶圆扫描设备。它具有易于使用的图形用户界面和高端数字信号处理功能。该系统针对高速以及精确对准和聚焦进行了优化。Twinscan AT 1100支持以最高吞吐量和低拥有成本全天候快速处理时间。晶圆步进器还具有用于关键注册、改进质量和数据管理的高级迭加功能。ASML Twinscan AT 1100利用先进技术进行高清成像、过程控制,并确保高精度操作。它包括高级自动对齐、参考对齐映射以及稳定对齐的即时补偿特征。该单元还设有高分辨率晶圆定位和可追溯计量站。这些设计用于测量x、y、z运动、俯仰、滚动等。Twinscan AT 1100还具有智能成像功能,使用户能够利用最新的图像处理技术。它包含了高达256位分辨率的几种先进成像技术，如自动对焦、镜头失真校正和图像装箱。该机还利用扫描头和高精度光学剖面仪。这样可以确保高分辨率和可靠的信息用于特定于应用程序的晶圆平整度和缺陷识别。ASML Twinscan AT 1100是一个完全模块化的工具，设计用于广泛的晶圆处理应用。它支持多种扫描格式，从标线到大型晶圆。它还具有可扩展的设计,单个视野范围从5 μ m到200 mm,使用户能够根据自己的特定应用需求选择最合适的扫描技术。Twinscan AT 1100还提供拥有成本优势，使得实施对中小型半导体生产设施具有吸引力。它具有较低的独立维护结构,因此用户可以满足自己的服务和支持需求。此外，晶圆步进器包括一个集成的环境监测站和可选的计量服务，以确保一个稳定的过程。