二手 ASML Twinscan AT 1100B #293640031 待售

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ID: 293640031
优质的: 2002
ArF Scanner 2002 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是为光刻应用而设计的最先进的晶圆步进器。该设备采用扫描激光器,能够实现高分辨率成像,可容纳数百个晶片用于生产。Twinscan AT 1100B非常适合先进的光刻工艺,如微芯片生产、ISFET加工和LED制造。该装置采用最先进的光学对准技术,采用两轴循环空气轴承布置,可实现精确、可重复和精确的精度。步进器被设计成以极高的精度聚焦激光束,允许高分辨率的成像具有优越的均匀性和非常低的可变性。此外,该设备采用了最先进的倾斜均衡算法,最大限度地减少焦点残留,最大限度地减少位置误差。ASML Twinscan AT 1100B采用超精确扫描阶段,可实现高达1000微米/秒的快速扫描速度,从而实现更快的成像和更高的吞吐量。该系统能够补偿振动和外部影响,以便长期保持成像稳定。此外,设备还配备了自动化服务周期,使操作员能够轻松监控和维护步进器,从而最大程度地减少停机时间。Twinscan AT 1100B拥有先进的硬件阵列,包括集成光源、高灵敏度光检阵列、低功率数字信号处理和独立的亚毫秒控制信号。这样可以确保设备能够实现并保持高精度和高性能。此外,该设备还可以利用多个曝光源和过滤器集来增强成像功能。ASML Twinscan AT 1100B在基于Windows的图形用户界面上运行,该界面直观且用户友好。这样可以快速轻松地设置、控制和执行映像操作。此外,该机器还配备了各种各样的测量、自动化、质量控制、服务和校准工具,使用户能够快速访问基本信息和功能。总体而言,Twinscan AT 1100B是一种非常先进、可靠和精确的晶圆步进器,非常适合各种光刻和成像需要。ASML Twinscan AT 1100B具有超精确的扫描功能、自动化的服务周期、直观的用户界面和较低的维护要求,是高端工业和技术应用的绝佳选择。
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