二手 ASML Twinscan AT 1100B #293652583 待售
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ID: 293652583
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2003
ArF Scanner, 8"-12"
193 nm
STARLITH 1100 Lens 4x
(2) Reticle SMIF pods, 6"
Throughput: >60 WPH
Scan field: 26 x 32 nm
Conventional illuminator: 0.85 - 0.33
DOE Turret illuminator with quasar
CYMER NANOLITH 7000 Series ArF laser, 20 W
SUN SPARC Remote workstation
Chemical extraction system
FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 Tracking interface
SECS I
SECS II
Annular
2003 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是为下一代半导体制造而设计的高精度晶圆步进器。它对直径可达180毫米的单个和大面积光掩模提供精确、可重复的处理,并采用先进的对准和验证技术以确保产量和质量。这台多光束机配备了先进的舞台设备和允许最大图像分辨率的最先进的照明系统。机器速度快、精度高、可重复性高，非常适合生产具有先进特性的晶片。Twinscan AT 1100B的特点是具有动态聚焦单元的单扫描体系结构,可确保精确聚焦和动态扫描速度,从而在整个芯片上保持一致的扫描速度。该机配备了一个强大、坚固的掩模传输工具，用于精确的掩模定位和图像对准，以及一个集成的晶圆级，用于可靠的晶圆处理。此外，机器还配备了光学模式识别和验证工具，提供性能和产品数据反馈。ASML Twinscan AT 1100B具有低放大成像资产,可用于在生产前检查和验证光掩模,而高分辨率扫描仪可确保精确的光刻性能。该机还配备了先进的光刻监控和计量系统，提供全程连续监控。该机器能够每小时处理多达180个晶圆，并准备通过使用先进的薄膜厚度测量系统来处理多种光掩模。综上所述,Twinscan AT 1100B是一种功能强大、准确、可靠且坚固的晶圆步进器,可提供光掩码的精确光刻再现。ASML Twinscan AT 1100B具有先进的舞台模型、创新的照明设备和集成的晶圆处理工具,是精密制造复杂IC的绝佳选择。
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