二手 ASML Twinscan AT 1100B #293667141 待售

ASML Twinscan AT 1100B是一种先进的晶圆步进器，用于半导体工业中的光刻。它是一种高性能的光刻工具，提供卓越的分辨率、出色的均匀性和快速的循环时间，使得大体积的半导体制造成为可能。TwinScan的扫描设备由两个顶级光刻光学元件（光学元件1和2）组成两镜扫描配置。这种设置在整个晶片上提供了卓越的成像和出色的均匀性,并且能够容纳各种晶片尺寸。TwinScan的先进光学器件还提供了卓越的分辨率水平，扫描到最大NA等于0.9的0.35 µm特征尺寸。Twinscan AT 1100B的其他功能包括其先进、用户友好的控制软件,该软件可轻松操作和进行系统定制。这也使对齐时间最小化，并提供快速晶圆设置。该设备还提供了一个自我故障排除功能,可以快速识别和解决任何计算机错误。TwinScan的设计旨在提供卓越的计量，这对于光刻工艺至关重要。它配备了主动计量工具，利用单色干涉屏蔽检测3D地形误差。它具有晶圆重迭多场缝合模式，可用于多场图像的精确缝合。ASML Twinscan AT 1100B还具有高真空资产和精确的晶圆加载模型,可实现高性能和高吞吐量。此外，其先进的抵抗烹饪设备可防止在暴露过程中燃烧抗蚀剂，从而提高性能。总体而言,Twinscan AT 1100B是一种顶级晶圆步进器,可提供无与伦比的分辨率、均匀性和周期时间。其先进的特性和高精度的计量方法使其成为需要最高精度和高批量生产的生产环境的理想选择。