二手 ASML Twinscan AT 1100B #293816605 待售
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ID: 293816605
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
ArF Scanner, 12"
X-Y Coil ATC assembly
RH Fame fiber
Optic sensor
WS Type 1
(2) Airbearing center LSY Slides, X WS AT
RETICLE BA‑XY‑13X19
RETICLE BE‑FOCAL‑200N
LSY Slide X WS AT
(2) Water circuit wafer filters, 30 µm
ACC Controller
Memory card
Filter
Water circuit filter
Water circuit filling filter
Laser
Optic
Light‑source replacement
Wavelength : 193 nm
Resolution : ≤180 nm
Single machine overlay: ≤40 nm
Throughput (WPH): ≥80
Inline with track
2002 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是一种先进的晶圆步进器-一种用于制造集成电路的半导体生产行业的机器-由荷兰的ASML公司生产。它是一种基于浸入式步进器，使用色散校正、高数值光圈透镜和先进的光刻设备来绘制晶片的图样，精确度非常高，达到40 nm节点。Twinscan AT 1100B有几个组件，使其成为IC制造的理想机器。集成的色散校正光学器件可减少整个磁场的波前像差,并允许在高达1.35的数值孔径下使用。用于绘制晶片表面图样的光掩模加载到晶片级,然后将晶片级在x轴和y轴中以0.05至0.10 μ m的分辨率在晶片上平移。该机还配备了支持单曝光、双曝光、多曝光应用的双音标线功能。ASML Twinscan AT 1100B具有卓越的成像和迭加功能,以及控制光刻系统的专有软件平台。该单元使用双级室内聚焦机，补偿因工艺不均匀而造成的散焦，包括空气轴承和电动级设计。此外,该机器能够进行现场过程监控,从而能够更快地反馈和更正暴露过程。Twinscan AT 1100B还提供卓越的吞吐量和拥有成本。该机每小时可扫描500平方米，维护方便，操作成本效益高。它具有内置的刀具完整性检查，以及可靠的伺服控制，这使得它成为一个高效高效的晶圆步进器。此外,ASML Twinscan AT 1100B在测试过程和材料方面提供了最大的灵活性,这意味着它可以处理从短曝光到多曝光配方的各种暴露过程。简而言之,Twinscan AT 1100B是一种先进且用途广泛的晶圆步进器,非常适合制造到40 nm节点的极其精确的集成电路。ASML Twinscan AT 1100B具有强大的成像和覆盖能力、现场过程监控功能以及卓越的效率和吞吐量,是半导体生产行业的理想机器。
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