二手 ASML Twinscan AT 1100B #293817674 待售

ASML Twinscan AT 1100B是一种顶级晶圆步进器，由半导体制造设备制造商ASML制造。这种设备能够在硅或其他半导体晶片的顶面产生极其精确的图样。该系统由一个将晶片固定在适当位置的阶段和三个主要的移动部件组成，即照明单元、物镜和投影板。照明机被用来产生完全均匀的图样暴露在晶圆表面上。这是使用三个卤素灯完成的，这三个卤素灯对于不同类型的曝光具有可调节的高度，并且在晶圆上提供均匀的光强度。空心阴极灯用于提供稳定、超短的曝光时间,用于高精度曝光,且热效应最小。物镜被用来放大投影板投射到晶圆表面的影像，使所产生的图样在最高解析度上是精确的。透镜具有可变的数值光圈，能够从1X-4X进行缩放，从而允许在晶片上以最高精度制作不同类型的图样。投影板位于透镜旁边，用于将所需的图样投影到晶圆表面上。此板包含一个镜面阵列,并且阵列由四个激光器生成,并且启用了180度运动,以便可以从多种角度创建阵列。与其他晶片步进器不同,Twinscan AT 1100B具有层曝光工具,可确保每一层的最佳曝光,而无需移动或倾斜基板。这样可以提高准确性,提高生产速度和成本效率。资产的大小为台式机,但可以轻松地在轮子上从一个位置移动到另一个位置。它能够在0.5 um以上的分辨率下产生非常精确的模式,非常适合先进的集成电路。ASML Twinscan AT 1100B是寻找顶级晶圆步进系统的半导体器件制造商的绝佳选择。