二手 ASML Twinscan AT 1100B #293817722 待售
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ID: 293817722
晶圆大小: 8" - 12"
优质的: 2003
Argon Fluoride (ArF) Scanner, 8" - 12"
No lens data
2003 vintage.
ASML Twinscan AT 1100B是一种设计用于半导体制造的高精度晶圆步进器。晶片步进器利用高度精确的级设备，使整个晶片能够精确对准和曝光。The Twinscan sites on a central located gamtry, which houses two independent votable lenses.镜头提供了强大的近距离对焦系统，确保晶片始终处于相同的精确位置，即使在镜头偏移发生后也是如此。AT 1100B的镜头运动小于2.5纳米，总聚焦范围高达1.73微米。这种精度水平确保即使使用了最高分辨率的感光材料，曝光也会在整个晶片上保持一致。AT 1100B采用先进的光学增益控制,以便即使使用分辨率最高的感光材料也能保持稳定的曝光,并确保即使在拍摄过程中晶片倾斜时也能保持一致的曝光。晶圆由X射线源照明，光束宽度为100微米，直径为0.2微米。这就产生了一个暴露场，它在短短六秒钟内覆盖了一个完整的晶片。步进器还具有集成的高级控制单元，允许用户监视和调整曝光场，以及控制焦点参数。这允许用户在整个晶片上实现最高的精度和均匀性。此外,AT 1100B还配备了晶片对准机,该机使用传感器确定晶片的位置并相应调整曝光场。最后，步进器配备了许多安全特性，例如碰撞检测工具，以确保晶片在暴露过程中不会损坏。此外，AT 1100B被评为连续工作，使其非常适合高端、高度精确的生产线。
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