二手 ASML Twinscan AT 1150 #9360853 待售

ASML Twinscan AT 1150是半导体工业中使用的先进晶圆步进器。它有一个由两个部分组成的分区扫描设备-一个用于在x-y平面中进行角度扫描的主扫描系统和一个用于沿z轴进行线性扫描的辅助扫描单元。Twinscan AT 1150利用衍射微光元件提高输出图像质量。它配有屏蔽机，防止成像时光学器件损坏。ASML Twinscan AT 1150的视野很大，最大字段大小为19 x 19 mils，最大字段偏差为0.05 mils。其最小特征尺寸为2.5 nm,最小特征公差为0.25nm。由于其先进的微光元件，步进器具有极高的0.8的数值孔径，是最宽的可用孔径。此外，它的光学设计允许同时进行高NA和低失真成像。Twinscan AT 1150的设计具有令人印象深刻的数据吞吐量,每小时高达500晶圆。它也可以在各种环境下操作，从标准到真空。它配备了一个铰接级，允许高达10米/秒的高速平移，并设有一个集成的数字测量工具，以提高精度和精确度。步进器配备了几种先进的照明系统，在功率、波长和强度方面有广泛的选择。其先进的内部软件支持先进的室内图像算法处理和基于图像的决策。它还与全球对准资产相结合，以确保在一系列晶圆样品上测量的准确性。ASML Twinscan AT 1150是一款高度先进的机型，旨在满足不断发展的半导体行业的需求。它具有广阔的视野、高数值孔径和快速的数据吞吐率，是图像减少和对齐过程的理想工具。其先进的照明系统和图像处理能力使其能够有效地适应制造过程的严格要求。