二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112174 待售

ASML Twinscan AT 1150i是一款一流的光刻晶片步进器，设计用于执行集成电路（IC）、微机电系统（MEMS）和先进光学的高精度光刻。这种自动扫描仪设备为客户提供了卓越的吞吐量、卓越的模式保真度和扩展的过程纬度,以帮助他们生产出最先进的技术。Twinscan AT 1150i是最新一代的工具,具有全新的扫描仪设计、原位校准以及先进的计量和过程控制功能。它集成了ASML浸入式光刻系统和独特的扫描仪单元设计，具有高速线性扫描、两帧、单偏转器和场透镜，确保了极大的均匀性和效率。借助ASML Twinscan AT 1150i的强大功能和灵活性,用户可以对功能尺寸降至20 nm的平版印刷芯片进行平版印刷,同时实现卓越的边距和迭加性能。Twinscan AT 1150i使用户能够以卓越的控制和精确度对要求很高的镜面和非镜面层进行平版印刷。该机还采用了高精度的X-Y级和扫描仪运动系统，可实现高吞吐量和快速吞吐量。它还使用象限检测器来确保无与伦比的图像均匀性。除了卓越的光刻功能外,ASML Twinscan AT 1150i还具有多种高级计量和过程控制选项。这包括先进的标线计量工具、多象限自动缩放资产、深度聚焦计算以及主动反馈,以实现更高级别的光刻优化。另外，Twinscan AT 1150i具有业界领先的检验模型，用于验证晶片在曝光前的完整性。功率和稳定性是ASML Twinscan AT 1150i最重要的两个特点。这台机器由先进的晶圆处理系统提供动力，包括多个级和机器人，以及一个密封扫描仪，以确保无论环境温度如何的最佳工作条件。它还具有板载晶圆路由、开销冷处理交换和即时配置更改功能,从而允许连续生产过程。Twinscan AT 1150i是精细间距技术和高端3D设计的理想工具。它结合了卓越的光刻性能和先进的计量和过程控制能力，以确保最高质量的设备设计。凭借其先进的光源和扫描技术,ASML Twinscan AT 1150i使用户能够创建当今最强大的设备。