二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112176 待售
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ASML Twinscan AT 1150i是最先进的晶圆步进器。它是一个全自动和计算机化的设备,为各种应用领域提供精确的微光刻加工,包括半导体制造、光电元件制造和纳米光子学研究。1150i具有先进的成像系统,具有大视野、高分辨率和高吞吐量,可优化生产效率。它配备了集成的双级微光单元,能够实现广泛的成像和计量能力。1150i提供了出色的成像功能,具有多种数字图像格式,包括最流行的格式,如TIFF、JPEG和PDF。此外,它还可以处理图像处理和分析操作,提供从晶圆预处理到数据采集和分析的完整工作流程。1150 i具有一系列全面的成像、计量和过程监控工具,可帮助确保所生产产品的质量。1150i的设计提供了每个零件处理操作的高度精度和可重复性。它的自动校准程序确保整个成像过程不会出现失真。此外,还建立了实时核查和控制进程,以确保所有作业都遵循所需的参数。它还具有主动对齐和对齐验证功能的先进机器,以最小的操作员参与提供更高的产量和吞吐量。1150i的精确度因其集成的自动聚焦功能而进一步增强。1150i还为各种基材提供了广泛的工艺环境控制系统,包括具有不同表面光洁度、掺杂和蚀刻模式要求的基材。它还能够处理敏感的晶片材料,如光敏材料,并且可以配置为与专用涂层(如薄膜)配合使用,以确保尽可能高的成像性能。1150i是一款可靠、可靠的工具,可为操作员提供最大精度和生产力。它的自我诊断能力、集成的安全系统和细心的客户支持使该资产成为一种非常有益和可靠的制造工具。
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