二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112177 待售

ASML Twinscan AT 1150i是一种用于半导体制造业的极紫外线（EUV）晶圆步进设备。适用于先进的光刻应用，系统提供高吞吐量、重复性和准确性。它的分辨率为32nm,光束尺寸可达40 µm。Twinscan AT 1150i具有三个、独立同步、独立移动轴的立方体形状设计。X轴和Y轴允许步进器在场内运动和重新定位,Z轴提供焦点支持。步进器配备了激光泵浦对准（LPA）单元和一个内置的非接触式激光器，用于位置设置。步进器具有多段逐个快门扫描仪,其现场尺寸可达14毫米x 14毫米。扫描仪在连续快门的基础上运行，意味着它可以不停顿地暴露整个领域。这样可以在一次扫描中准确曝光和检索数据。ASML Twinscan AT 1150i扫描仪工具与ASML最先进的Photolitho-Rotation® （PLR®控制技术集成在一起。这项技术允许以微米级精度进行定位控制，并且可以将定位误差减少多达50%。步进器的光学器件被设计成创造出波长为13.5 nm的EUV光束。该光束由一组无失真的非球面冷凝器透镜进行光学校正和定向。这些透镜产生均匀分布的短圆EUV光束，确保目标的精确照明。为了获得更高的精度，步进器具有高节奏的数字延迟发生器（DG）。DG可以产生200 fsec至4e-6sec的脉冲长度，精度低至1皮秒。Twinscan AT 1150i配备了自动化的自我校准进给模拟资产,有助于最大限度地提高有效吞吐量和准确性。此模型可以在单个设置中生成多个曝光,并在尽可能短的时间内对其进行对齐。进给模拟算法也可以根据用户的个别需求进行定制。ASML Twinscan AT 1150i适用于各种定制应用程序。它支持多种曝光技术,允许各种光束配置。此外,步进器还配备了专用的标线处理设备,使用户能够快速准确地更改标线。Twinscan AT 1150i是任何先进光刻的理想解决方桉。该系统具有多功能性、先进特性和卓越的精度,可为消费者和工业领域的客户提供全面的平版印刷解决方桉。