二手 ASML Twinscan AT 1150i #9112188 待售

ASML Twinscan AT 1150i晶圆步进器是一种在半导体工业中广泛使用的最先进的光刻机。该机器能够产生小光斑尺寸小于10纳米的高分辨率光学图样。1150i是一种投影式扫描机，利用激光束在晶圆上产生图桉。激光束首先从一个旋转的球面镜反射出来，将光束聚焦在一系列的小运动阶段上。这些级以预定的模式将激光束穿过晶片移动。晶片安装在一个5轴级，允许它在任何方向移动。该级还能够在扫描激光穿过表面时旋转晶片。这种技术允许1150i用于多个曝光作业，甚至可以在单个晶圆上创建几种不同的模式。1150 i利用了一种称为step and repeat的技术，在该技术中多次扫描晶圆的同一部分。这样可以在一次扫描中建立多层晶片。此外，该机还有一个多闸门系统，可以使激光束的焦点得到即时调节。1150i还具有可编程控制系统，允许用户定义机器将围绕其运行的特定速度和加速度参数。此功能使用户可以针对各种作业优化系统,例如高吞吐量或低模式复杂度,从而提高生产率。除了卓越的扫描能力外，1150i还能够快速处理数据，确保快速准确的模式定义。机器可以在10毫秒内快速处理作业信息,并且还具有实时对齐功能。1150i是一款高效可靠的机器，提供卓越的模式保真度和均匀性。其强大的设计和集成的特性使其成为满足半导体制造和研发需求的绝佳选择。