二手 ASML Twinscan AT 1200B #293663069 待售

ASML Twinscan AT 1200B是一种用于光刻的高精度晶圆步进器。它旨在提供高分辨率的模式转移到基板上，如半导体晶片，同时保持产品的尺寸精度。Twinscan AT 1200B利用高精度步进电机进行运动控制，从而实现微米的位置精度。该设备具有高分辨率光学元件，包括变焦放大镜、远心光学、投影镜头、红外对准系统和可变数值光圈。所有这些元素的组合提供了一个高精度的成像单元。ASML Twinscan AT 1200B能够处理直径不超过12英寸的基板。它的特点是步进臂具有可变的速度，使基板的旋转和对准暴露的表面。步进臂连接到水平滑过基板台的托架，从而实现精确快速的定位。Twinscan AT 1200B还提供了自动对准机，它使用光学传感器跟踪基板在桌子上的位置。此工具允许更快、更准确地调整组件。步进器还具有可选的平整资产,可测量基板在不同位置的表面并调整其高度以确保精度。除了精密元件和对齐模型外，ASML Twinscan AT 1200B还具有光罩和工艺控制单元。光罩用于控制曝光水平和聚焦设备，而过程控制单元则允许用户调整食谱参数，如照明水平和曝光时间。Twinscan AT 1200B提供了广泛的光刻功能。其高精度成像设备和控制组件可提供准确可靠的模式传输,同时其自动对齐和可选的调平器可确保可靠的性能。结合其与众多基板的兼容性，ASML Twinscan AT 1200B对于需要精确可靠的晶圆步进器的用户来说是一个极好的选择。