二手 ASML Twinscan NXT 1970Ci #293817825 待售

ASML Twinscan NXT 1970Ci是一种基于光刻的晶圆步进器。它使用DUV（深紫外线）源以逐层方式将图样暴露在光刻胶覆盖的晶片上。与传统的光刻系统相比，Twinscan NXT 1970Ci具有几个独特的优势，例如它的高真空设备不需要大气层交换装置，它的大数值孔径支持高分辨率成像。ASML Twinscan NXT 1970Ci并行使用多个扫描仪,从而实现更快、更高效的吞吐量。每个扫描单元都连接到一个基于激光的照明系统，该系统使用波长乘法原理来达到最佳分辨率，并匹配每个光刻层的分辨率要求。自动飞行校准装置对焦点和其他参数进行连续监控，以确保更高的准确性和可重复性。Twinscan NXT 1970Ci支持多种标准的光刻胶膜类型和工艺化学，在优化每种晶片层的光刻参数方面提供了更大的灵活性。此外,该机器还提供了用于全局和局部对齐的高级对齐控制,从而能够在大型图桉和模具结构上进行单曝光缝合,而不会产生阴影工件。ASML Twinscan NXT 1970Ci配备了先进的控制器系统和先进的3D监视器工具集,可全面控制所有光刻和计量过程。这些工具包括可追踪性选项、流程优化的逐层监控、全自动作业设置以及质量控制功能,如CD/光学控制。Twinscan NXT 1970Ci还提供全面的计量和检测功能，包括全3 D非接触式检测、实时成像、薄膜厚度监控和迭加控制。此外，该工具与各种各样的晶圆处理和包装系统兼容，允许无缝集成到现有的工厂生产线中。ASML Twinscan NXT 1970Ci是寻求高性能光刻解决方桉的高通量晶圆厂设施的完美解决方桉。它允许在各种光刻胶和其他胶片类型上进行经济高效、准确且可重复的图样绘制,使其成为任何先进制造过程中可靠且通用的合作伙伴。