二手 ASML Twinscan XT 1200 #9079261 待售

ASML Twinscan XT 1200是一种PAS 5500/6500晶圆步进器，用于半导体基板的光刻。它是当今用于制造集成电路的最精确的光学机器之一。它能够对20 nm大小的特征进行阵列设计,精确的步长精度为+/-0.5nm。Twinscan XT 1200配备了Synchroscan®扫描系统,该系统配备了可对晶片进行X-Y扫描的级,具有高度的线性和速度稳定性。舞台可达到240mm/秒的最高速度，最大加速度为40G。此外,该级还集成了螺距和滚动自动校正传感器,以在整个扫描区域内保持阵列的对齐。ASML Twinscan XT 1200能够曝光高达300 mm直径的晶圆基板,分辨率设置低至0.45 μ m/像素。这种超高分辨率的能力允许产生更精确的模式。该机器还配备了裁剪对齐系统（CAS）,该系统允许对齐小晶片段,以便在晶片内精确放置特征。Twinscan XT 1200还使用阵列波导光栅（AWG）和长工作距离目标（LWD）来允许半定制层和设计的曝光。这些波导光栅不太容易失真，提供更宽的视场（FOV），从而允许提高吞吐量。LWD目标提供了极佳的景深（DOF）,可产生更清晰的图像。ASML Twinscan XT 1200是当今半导体行业一个高度可靠和高效的生产系统。它以精确度和速度着称，能够产生比其他大小的机器更大特征密度的高品质图桉。它还能够解决一系列应用，从数字IC和控制IC到模拟IC和电源IC，使其成为现代芯片制造的通用工具。