二手 ASML Twinscan XT 1200B #9096080 待售
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ID: 9096080
Stepper
Slit uniformity: 0.31%
Intensity: 1024.54
Symmetrical error: 0.13%
Max stray light: 0.42%
Slit average: 0.36%
With Unicorn at center: 0.406
SAMOS: 0.89%
Best focus: -0.017
Focus range: 102
AST: 39
Chuck ID 1
Max DX Stdev. DY
1 4.5 2.2 1.8
2 3.5 2.4 0.3
3 3.1 2.1 2.4
4 2.9 3 2
5 2.9 2.1 1
Max DY Stdev. DX
1 3.5 1.6 1.3
2 3.2 1.5 1.6
3 2.9 2 0.8
4 2.8 1.8 2.3
5 2.8 1.6 2.2
Chuck ID 2
Max DX Stdev. DY
1 4.7 4.2 2.8
2 3.7 3.4 2.1
3 3.4 4.3 0.2
4 3.2 3.9 3.2
5 2.7 4.2 0.7
Max DY Stdev. DX
1 3.6 2.9 0.7
2 3.5 1.9 0.9
3 3.4 2.3 0.2
4 3.2 2.9 3.2
5 2.8 2.3 2.3
342/440 VAC, 48/52 Hz, 30 kVA.
ASML Twinscan XT 1200B是制造集成电路的先进晶圆步进器。在芯片制造过程中,它被用于在半导体晶片上精确地绘制光掩模.XT 1200B以ASML双光束扫描技术为基础，具有最先进的光学子系统和高性能扫描场的有效性。XT 1200B在每个投影单元中都装有两个衍射光学元件（DOEs），包括一个集成的抵抗成像系统。指定经营实体采用两条单独的光路精确校正像差，以产生聚焦的亚微米线型。集成的抗蚀剂成像系统提供了薄层或厚层图样光刻胶的低拷贝掩蔽。XT 1200B的对准精度为12nm（1 σ）和2nm漂移，提高了成品的蚀刻和产量。它实现了标线/晶圆平整度、光束均匀性、定位和指向精度，甚至基板在图样制作过程中的电气行为等关键机床参数的测量和监控。XT 1200B拥有12英寸的标线扫描字段、1,525万像素/秒的全场扫描速率和1.24亿像素/秒的总晶圆扫描速率。其最大数值孔径0.25提供了小于0.25微米的分辨率极限。XT 1200B还具有高达600 mJ/cm^ 2的大剂量,在较厚的抗蚀剂情况下,能够更快地曝光。此外,此模型还提供了一整套数据分析和报告工具,使用户能够在抵抗成像、迭加和镜头损坏方面优化机器性能。XT 1200B还带有自动阶段校准和像差校正功能,以实现持续的稳定性和性能。总而言之，Twinscan XT 1200B是最先进的晶圆步进器，非常适合大批量生产先进的半导体器件。它结合了极好的对准精度、高吞吐量以及像差校正和集成抗蚀剂成像等先进功能，确保每一批半导体出厂完美。
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