二手 ASML Twinscan XT 1250 #9268786 待售

ASML Twinscan XT 1250是一种准分子波长扫描仪，提供UV影像，协助集成电路的光刻。它主要用于晶圆制造工艺，用于制造大体积的光刻母版。ASML TWINSCAN XT:1250的分辨率为两微米，每小时扫描多达1250个晶圆。这使得它成为高端生产晶圆的合适而高效的工具。Twinscan XT 1250的激光对准设备旨在提供精确、高性能的扫描。该扫描仪定位精度为5微米，可用性为98%。它具有6倍的图样预对准系统和5微米特征预对准单元，意味着即使是最小的特征也可以精确定位。新的三滑五轴设计确保了更高的准确性和灵活性。TWINSCAN XT:1250使用激光照明器产生一个短的紫外线脉冲，用于暴露牺牲层。此光脉冲接着被定向到晶片，晶片在图样对齐时被暴露。这样可以确保保持对准的精度并产生精确的结果。前端计量站是ASML Twinscan XT 1250的另一个重要特点。计量站用于测量曝光前晶圆上的特征。它确保晶片正确对齐,并且所有特征都位于正确的位置。ASML TWINSCAN XT:1250还有一个自动群集工具,它将晶圆步进器链接到群集工具加载程序。该工具可以快速准确地加载和卸载晶圆图样。Twinscan XT 1250还拥有两个独立的机座舱，实时显示工具设置、温度、高真空资产等型号条件。这对于管理设备组件和确保系统始终高效运行非常重要。总体而言，TWINSCAN XT:1250是一种强大而精确的晶圆步进器，能够在短时间内生产出高级光刻大师。它具有五微米的精度，高可用率，和激光对准单元，保证精确度在微观水平。此外，它还配备了一个自动化的集群工具和两个独立的机器驾驶舱，以保证正确的工具操作。