二手 ASML Twinscan XT 1250D #293602263 待售

ASML Twinscan XT 1250D是一种先进、高度精确且用途广泛的晶圆步进器,旨在满足300 mm晶圆应用的生产要求。它能够处理各种光刻层，从光致抗蚀剂到金属等。它具有高速1250 mm扫描级，具有精确的直线电机驱动和用于精确定位的高分辨率编码器。最大级速度为450毫米/秒，在10nm水平具有重复性。ASML TWINSCAN XT:1250D具有超大型、高分辨率的11 µm狭缝投影仪,其光学分辨率超过1 nm。高分辨率通过使用DCM （Dot Calibration Method）和双迭加引擎实现，这两者都纠正了任何缺陷以确保精确成像。此外，该设备还配备了强大的照明控制（IC）包，能够管理多达四个光源和一系列具有挑战性的照明环境。TWINSCAN XT 1250 D有一个大的、灵活的、不重迭的晶圆场，可以定制以适应大的模具尺寸。该系统能够一次处理多达15个晶圆，可以与一系列基材配合使用；从硅、的、多晶硅到外延层。另外，该单元可以处理一系列晶圆尺寸；从5英寸到14英寸的晶圆。Twinscan XT 1250D由一台先进的控制机器提供动力，它提供了多个显微镜、光学机械元件、电机和传感器的高级功能和完全可扩展性。它配备了先进的软件工具和协议，旨在促进快速和精确的光刻。它内置的诊断、主动过程控制（PPC）和无振动进纸器使机器易于操作和维护。ASML TWINSCAN XT 1250 D工具由一整套服务支持,以确保资产的正常性能和寿命。这些包括现场启动和调试、模型维护和支持、更换部件和培训。此外,ASML还提供性能保证,确保设备满足其性能要求。