二手 ASML Twinscan XT 1250D #293609485 待售

ASML Twinscan XT 1250D
ID: 293609485
ArF Scanner.
ASML Twinscan XT 1250D是为最严格的生产环境而设计的高端晶圆步进器。它是一个高级工具,结合了最新的光学、舞台运动和图像处理。XT 1250D提供了一个大视场(FOV),其1倍FOV高达80mm,允许用户检查晶圆上最小的功能。步进器使用自动彩色焦点检测设备,使用户能够快速建立成像系统的最佳焦点。自动对焦检测单元还提供了在不同环境下操作的灵活性。ASML TWINSCAN XT:1250D设计用于处理多种材料和厚度。用户可以选择各种曝光选项,例如单点曝光或多点曝光。仪器可以使用各种焦点采集模式,包括宏观聚焦、自动对焦和驱动焦点设置。步进器配备了先进的光学器件,可实现最高分辨率的成像和最低的晶圆失真。步进器还提供高精度扫描机,允许快速图像采集,运动利用率低,整体吞吐量提高,可重复性高。XT 1250D带有直观易用的图形用户界面。这使用户可以轻松配置工具的各个方面,并对各种参数进行编程。自动覆盖功能允许用户即时调整曝光设置。除了成像功能外,XT 1250D还提供过程控制和可追踪性,使其适合跟踪和监控过程性能。该资产还提供温度控制和湿度监测,允许用户设置和维护晶圆暴露和处理的必要条件。TWINSCAN XT 1250 D是为最严格的生产环境而设计的先进晶圆步进器。它将最新的光学、舞台运动和图像处理与直观的用户界面结合在一起。步进器还提供过程控制和可追踪性、温度控制和湿度监测以及灵活的曝光选项。所有这些特性使其成为晶圆制造和检验的强大工具。
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