二手 ASML Twinscan XT 1250D #293666937 待售
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ASML Twinscan XT 1250D是一种晶圆步进器,旨在为微电子工业中使用的基板产生高度精确的数字图像。它能够快速通过和扫描几个基板一次,产生极好的精度。ASML TWINSCAN XT:1250D的扫描字段为1250mm,可达到高达17µm/pixel的分辨率。晶片步进器的主要部件是其光学系统、控制器和级。高分辨率光学系统由一个1250mm的扫描场、一个2/3rds的数值光圈和一个物镜组成,使其能够以高达17µm/像素的分辨率扫描图像。其控制器包括一个触摸屏用户界面、一个CCD检测器阵列,以及一台高速的视控PC。舞台是一个完全可编程的X-Y定位器,能够容纳直径达125mm的基板。TWINSCAN XT 1250 D采用了许多功能来提高精度和成像。其中包括波前质量控制系统、适应不同基板尺寸和厚度的校准特征,以及最优设置成像参数的自动设置算法。选择和监视照明源以及自动对齐例程的能力有助于同时对齐和定位几个基板。晶圆步进器与Twinscan生产和数据管理软件配合运行。该软件允许控制对比度和亮度等特定参数;它还可以方便地输入与批量大小、基材类型和运行时间有关的指令。该软件易于扩展,支持多种扫描和成像格式。TWINSCAN XT:1250D是任何微电子实验室必不可少的设备.它非常用户友好和坚固,并提供出色的准确性和图像分辨率,非常适合业界的需求。
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