二手 ASML Twinscan XT 1250D #293820026 待售

ASML Twinscan XT 1250D是为制造半导体晶圆而设计的晶圆步进器。它是一种超高分辨率光刻设备，在X-Y平面提供890 nm的图像尺寸。该系统使用典型的光电光源，如激光，在半导体晶圆上书写图样，可以产生低至60 nm的特征。它能够在负性和正性抗性中产生独特的光学模式。ASML TWINSCAN XT:1250D配有高性能发电机、控制器和软件,可用于最佳光刻任务。它有一个48英寸的离轴镜和一个8英寸的标准场镜头单元。光学机器基于投影光学，采用折射工具，确保图像像差最小。投影光学器件的成像能力从175毫米到5毫米不等，使其能够在晶片上书写各种图桉。TWINSCAN XT 1250 D设计用于处理玻璃、金属膜、石英基板等多种基板。它有一个12通道扫描仪，用于控制晶圆在光刻领域的移动。这项资产能够每秒聚焦10,000 um，还可以处理曝光抑制和模式修正。ASML TWINSCAN XT 1250 D还配备了先进的无散射扫描模型，有助于在平衡离子图像特性的同时增加曝光时间。其低型加热设备为晶片表面提供了均匀的温度，减少了抗弓，提高了暴露精度。嵌入式高级静电卡盘有助于保持晶片上的恒定压力，从而实现快速、精确的对准。此外，TWINSCAN XT:1250D还配备了一个高性能的工艺室，能够以可控的方式有效地消散气体、液体和热量，减少污染，最大限度地提高均匀性。它还具有一个狭窄的带宽离子源，以改善模式质量。它是一个高度自动化的系统,具有高度的流程控制以及自动化的子场调度功能,可提供高吞吐量和可重复性。