二手 ASML Twinscan XT 1250D #9207817 待售
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已售出
ID: 9207817
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
ArF Scanner, 12"
RH Type: Right type
WH Type: SMIF
Workstation type: NETRA V240
Laser type: CYMER Laser
Uniformity: 0.93 % (<0.35 %)
Stray light: 0.53% (<1.0%)
Lens data
Spherical: 0.92 nm (-0.2 to 0.2)
Coma: 0.78 nm (-0.2 to 0.2)
Astigmatism: 1.1 nm (-0.1 to 0.1)
(3) Foils: 0.55 nm (-0.1 to 0.1)
(Z5-Z-37) 2.27 nm (-0.2 to 0.2)
2004 vintage.
ASML Twinscan XT 1250D是用于制造集成电路的晶圆步进器。它是一种先进的光刻设备,能够在半导体晶片上产生复杂的集成电路模式。ASML TWINSCAN XT:1250D采用四通道激光器,用于曝光感光抗蚀剂。激光从它的四个象限产生曝光,最大分辨率为25 nm。步进器还提供快速扫描速度,加速度为2 m/2 s ²最大速度为100 kHz。这使得TWINSCAN XT 1250 D能够在几秒钟内完成完整的步骤过程,而竞争对手的系统则需要几分钟才能完成一个过程。步进器还提供了超过150毫米场尺寸0.15 µm的极其精确的对准精度。这样可以确保在晶片边缘打印的特征保持准确,并且不会偏离预期的模式。TWINSCAN XT:1250D的另一个优点是能够自动调整过程。其算法使系统能够优化其参数并相应调整其过程,从而实现可重复的结果。这将删除优化设备和提高生产效率所需的手动步骤。Twinscan XT 1250D能够在软硬UV范围内运行,使其能够使用各种抗蚀剂和基板。这种多功能性使得步进器适合广泛的生产需求。ASML TWINSCAN XT 1250 D是一款可靠、耐用的机器,设计运行超过24小时,无需任何维护。它还包括一个高级诊断接口,允许制造商主动监视工具的状态并在需要时进行更改。总体而言,ASML Twinscan XT 1250D是一种可靠、高效的晶片步进资产,能够在半导体晶片上产生复杂的集成电路模式,精确度高。它提供快速的扫描速度、自动化的调谐过程,并且可以在软硬质紫外线范围内运行,使其适合各种生产需要。
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