二手 ASML Twinscan XT 1250D #9393106 待售
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ASML Twinscan XT 1250D是一种晶圆步进器,能够将图样从光掩模传输到各种晶圆基板。它旨在为各种微电子应用提供快速、可靠的高分辨率投影打印。它是ASML提供的最先进的光刻工具,适用于生产内存、逻辑集成电路和3D-imaging设备等先进微电子产品。步进器利用了先进的垂直扫描设备,使其能够对打印图像执行非常严格要求的投影打印。它还有一个内置的晶圆对准系统,允许它精确定位所需的标线区域进行扫描和打印。其分辨率高达0.50 μ m线性和0.45 μ m轴上,刀具的吞吐量为每小时146-160晶圆。ASML TWINSCAN XT:1250D具有高分辨率激光投影成像单元,使其能够产生具有精确晶圆级轮廓和打印数据均匀性的高分辨率图像。它是由先进的面罩对准与光刻级精度补充。掩模对齐器能够将光掩模自动对准指定的晶圆图样,精度为1.5 μ m。TWINSCAN XT 1250 D还支持先进的曝光技术,如深紫外线激光成像,用于350nm和450nm曝光。此外,它还拥有一台先进的板载固件机,可为各种应用程序快速设置和轻松编程。该工具适用于高性能内存设备、有机发光二极管显示器、音高特性非常小的图像传感器等应用。它还可以处理精密计量、光掩模修复、高分辨率3D成像等高级应用。总之,ASML TWINSCAN XT 1250 D是一种先进的晶圆步进器,具有卓越的成像和吞吐量能力。它为各种高端微电子应用提供了极致的精密印刷,其高分辨率激光投影成像工具提供了异常精确和均匀的图样。
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