二手 ASML Twinscan XT 1400F #293817723 待售

ASML Twinscan XT 1400F是由业界领先的半导体制造和光刻设备制造商ASML设计的晶圆步进器。XT 1400F是ASML生产的第四代平台技术，被设计为制造高级内存、高级CMOS逻辑、RF器件以及III-V逻辑和电源器件制造的综合光刻解决方桉。XT 1400F晶片步进器利用最大数值孔径（NA）高达0.75来获得半导体工业中可达到的最佳分辨率。XT 1400F具有广泛的镜头范围,能够提供广泛的工作焦距,最高范围可达1450 mm。这种广泛的焦距允许应用于各种晶圆大小以及广泛的可用工艺节点。除了高数值孔径外，XT 1400F通过其快速、高度动态的同步电动机实现可靠、可重复的定位。这些电动机采用0.5纳米的高分辨率设计，比传统的步进器具有更高的精度。XT 1400F的低噪声、低振动设计使其成为22nm以下生产节点高精度应用的理想选择。其先进的掩模处理技术提供了准确可靠的迭加测量,保证了频繁更换掩模所取得的一致工艺结果。XT 1400F结合了ASML最新的跟踪时代技术和过程可重复性,使其成为市场上质量最高的步进器。它还具有多区域UV源设计,可提供极短的脉冲照明时间,从而改进临界尺寸控制。XT 1400F还具有IQCAS（串联质量可控辅助步进器）-ASML独特、快速调整的系统,可实现快速的周期时间和更经济高效的吞吐量。使用IQCAS,可以使用串联扫描仪提供的图像测量和微调照明设置,自动优化周期时间。总体而言,Twinscan XT 1400F晶片步进器为高级内存、CMOS逻辑、RF和III-V逻辑以及电源设备制造提供了高度可靠、高质量和专业化的解决方桉。