二手 ASML Twinscan XT 1400F #9143647 待售
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ID: 9143647
晶圆大小: 12"
I-line wafer stepper, 12"
ArF Exposure tool
Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1
193nm scanner
Photo module
Equipment type: PS-ARF
Missing parts:
Spare assy, auto shutter
Spare assy, beam reverser
Power supply assembly, DC
Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A
Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR
(ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM
Spare,line narrowing module,LNM ,45x
WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy
Blower motor assy
ACC MK4 Clean air fan
SPM RS Encoder head top mnt Y1
(2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn
Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule
(2) Commutators
OC ( ArF)
Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber
Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber
WH SHB II Assy
MPCR (meas.pos.control rack)
Assy, CAN controller module, lower left optics
Power amp controller PPCA
WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)
WS Type 3+4 open X-beam assy
Spare assembly, MO web
Spare assembly, PA web
Spare, mechanical assy, ISS
DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO
Aerial-P XT: 14X0 FO
DOE 193P ID8 MP2 90-X FO
DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO
DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO
Recipe creator light FO
Exposure FO
Integrated reticle library FO
AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO
IRIS for Twinscan, 6" FO
Reticle CIDRW hermos (RF) FO
24-Character barcode reader Twinscan
Second laser paddle cymer
ESI EX2600 Hybrid
2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F是世界领先的晶圆步进器,用于在光掩模上绘制微小的特征图样,用于制造集成电路。Twinscan以独特设计的步进和扫描运动为基础，使用专利的1比1比例，确保晶圆级的快速、均匀运动。Twinscan XT-1400F还拥有比竞争步进器更大的面积场大小，允许在单个曝光时在单个基板上打印更多的特征。ASML Twinscan XT-1400F集成了高分辨率扫描Artem技术,实现了卓越的吞吐量和更少的假边。无振动设计可实现最高精度定位,允许打印小至5纳米的特征。Twinscan支持包括硅、石英、聚酯薄膜和各种多层基板在内的一系列基板。Twinscan XT-1400F还具有高稳定性的多气体室和反应性气体的热擒纵装置，提供了最佳的加工时间和均匀的最终微观结构。而且，光学和偏振器系统允许系统实现精确的偏振控制、高通量和优越的成像质量，而低质量晶圆级则消除了振动中的图像模煳。ASML Twinscan XT-1400F支持广泛的曝光参数,能够以极快的速度持续生成高分辨率图像。此外，Digital MicroScanner软件还可以方便操作和精确的系统功能。最后，Twinscan XT-1400F的反向扫描结构导致光掩体和基体上的颗粒污染程度较低。总体而言,ASML Twinscan XT-1400F是一种最先进的晶圆步进器,它提供卓越的图像分辨率、卓越的吞吐量、功率效率和最小颗粒污染的独特组合。它非常适合在集成电路上创建微观特征,其丰富的特性技术使其非常适合各种基板。
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