二手 ASML Twinscan XT 1700i #293652050 待售
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ID: 293652050
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
ArF Scanner, 12"
SMIF / FOUP
Projection lens
Material / Chemical: Align
Load Module: EFEM
Process module:
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
AOM Laser
Bottom module spacer
EIM
ELEC
Utility:
CYMER XLA360 Excimer laser
BSM
ACC
ENTEGRIS E51004802 Charcoal filter
AERONIX EGPS
MCWC
LCWC
WSRC
RSRC
MDC
WICC
WISC
2006 vintage.
ASML Twinscan XT 1700i晶片步进器是一种高度先进的晶片加工机,旨在生产具有卓越精度和细节水平的晶片。该机器能够处理范围广泛的晶圆尺寸,并且具有高精度和重复性,可以生产出种类繁多、特征尺寸极其精细的设备。XT 1700i由高性能、高速精密电机及相关运动设备驱动。这样可以在整个扫描范围内快速一致地移动,以确保高精度。它的电动机被设计为确保最小的振动和高达300纳米每秒的连续扫描速度。该机器还可以快速、方便地进行改装,以满足各种不同晶片和生产工具的需求。机器还装有先进的晶圆处理系统。这样可以快速、高效地加载和卸载晶片,以及对晶片进行精确的对准、间距和倾斜调整。它还具有一个特殊的模式跟踪对准单元,可确保每个晶圆上精确复制所需的模式。XT 1700i还配备了先进的对焦控制算法和高速成像技术。这些功能即使具有难以阵列化的基板(如DRAM和3D结构),也可实现极高的性能水平。XT 1700i还具有多种高科技计量技术,以确保输出晶片符合严格的标准。其中包括外观计量机、光谱计量仪和全剖面仪。此资产为用户提供了晶圆表面质量和微小设备关键特征尺寸的高精度测量。此外,XT 1700i拥有先进的环境控制模型。该设备采用高度先进的主动冷却系统,以确保机器在最佳温度下运行,并保护晶片免受灰尘和其他污染物的侵害。总而言之,Twinscan XT 1700i是一台极其先进的晶圆加工机,能够以卓越的精度和精确度生产出极高品质的晶圆。适用于广泛的应用,其先进的计量和环境控制系统确保其达到质量和可靠性的最高标准。
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