二手 ASML Twinscan XT 1700i #293812028 待售

ASML Twinscan XT 1700i晶片步进器是一种先进的高分辨率光刻机，用于在半导体晶片上创建精确的图样。这种设备利用各种各样的成像和照明技术来处理各种材料和层的基板。先进的Twinscan XT 1700i配备了专有的等离子源浸入式光刻（PSIL），这是一种在较大基板上创建图样的高效且经济高效的工艺。PSIL可实现精细特性的精确成像,同时保持高吞吐量。它还利用一个灯塔光学系统，在一个大的区域提供均匀的照明，允许更精确和精确的成像。ASML Twinscan XT 1700i配备了业界领先的Z扫描仪，能够移动x、y和z轴中的大基板，使其能够三维扫描。这种提高的精度确保了整个基板被捕获和任何产生的缺陷被最小化。此外,设备内的晶片介质处理程序可同时处理多达7个6英寸晶片和8个8英寸（200毫米）晶片。Twinscan XT 1700i能够快速准确地获取数据,其卓越的特征分辨率可达到25 nm。它还拥有通过各种照明类型，如KrF、ArF、高数值孔径离轴照明和PSIL照射所实现的广泛曝光，这些照射导致了相当高的清晰度和细节。最后,ASML Twinscan XT 1700i凭借其专有的Nano-Tempo节能技术实现了节能,该技术可确保机器利用适当的功率以最大程度地减少功耗并进一步提高其速度,每小时可超过30个晶圆的速度。其精确的成像、能效和精确的特征分辨率相结合，使得Twinscan XT 1700i成为高速半导体晶圆制造的理想工具。