二手 ASML Twinscan XT 1900 #293817829 待售

ASML Twinscan XT 1900
ID: 293817829
Lithography system Numerical Aperture (NA): 1.35 DCO:  ≤4.6 Resolution: 36.5 nm Throughput (WPH): 131.
ASML Twinscan XT 1900是一种尖端晶圆步进器,代表了半导体光刻领域的重大进步。Twinscan XT 1900由光刻设备的领先制造商ASML开发,旨在满足先进半导体制造工艺的苛刻要求,包括用于生产功能尺寸不超过7纳米的集成电路(IC)的要求。ASML Twinscan XT 1900的核心是其先进的投影镜头设备,能够实现卓越的分辨率和成像保真度。该系统采用了复杂的折射设计,融合了折射和反射光学元件,以最大程度地减少像差和失真,从而降低图像质量。此设计允许Twinscan XT 1900实现高数值孔径(NA)值,使其能够以卓越的精度解析晶圆上的精细特征。ASML Twinscan XT 1900的关键启用技术之一是其先进的照明单元,它在塑造用于在晶片上曝光光刻胶的光方面起着关键作用。该机具有可编程照明模式,包括各种形式的离轴照明,可针对不同的图桉要求进行优化。这使得Twinscan XT 1900能够在广泛的阵列几何形状和间距上实现卓越的成像性能。除了其先进的光学和照明工具外,ASML Twinscan XT 1900还配备了高度稳定和精确的晶圆级。该级能够以亚纳米精度移动晶片,使资产在曝光过程中能够精确定位晶片在投影透镜下。晶片级还具有动态补偿机制,以尽量减少振动和其他误差源,确保以最高精度进行曝光过程。Twinscan XT 1900还设计用于支持多种图桉技术,如浸入式光刻和极紫外线(EUV)光刻。这些技术使半导体制造商能够在其IC设计中实现更精细的特征大小和更高水平的集成。该模型与广泛的光刻材料和工艺兼容,使制造商能够灵活地适应不断变化的技术要求。在吞吐量和生产率方面,ASML Twinscan XT 1900专为大批量制造环境而设计。该设备具有先进的自动化功能,包括晶圆处理系统和软件控制,可帮助简化光刻工艺并最大程度地减少停机时间。该系统还具有可靠和易于维护的特点,具有强大的组件和诊断功能,可实现快速故障排除和服务。总体而言,Twinscan XT 1900代表了一种用于半导体光刻的最先进的解决方桉,为生产高级IC提供了无与伦比的分辨率、精度和灵活性。它结合了先进的光学、照明和自动化技术,使其成为处于技术创新前沿的半导体制造商的通用且功能强大的工具。
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