二手 ASML Twinscan XT 850F #9211428 待售
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已售出
ID: 9211428
晶圆大小: 12"
KrF Scanner, 12"
Laser: CYMER ELS-7610K (40W)
Machine type: MES XT850F
Power: 400V.
ASML Twinscan XT 850F是一种精确的晶圆步进器,旨在承受极端的工艺条件.它是一种用于先进半导体光刻应用的高分辨率晶圆步进器。XT 850F具有高保真成像设备,可提供高达28nm的高音高分辨率特性。该系统的光学系统利用先进的ACIS技术来实现最好的图样边缘放置精度。Twinscan XT 850F利用基于FOUP(前开口统一窗盖)的强大平台和自动批次验收测试来保证过程的均匀性和缺陷控制。它还具有先进的检查单元和自动晶圆处理系统,以最小的用户干预提供快速的装卸时间。步进器利用高度先进的工艺控制技术,使光刻工艺更加可靠可靠。晶片步进器结合了数据分析和多图桉化层保真度,为提高设备的复杂性而设计,从而实现了快速的现场反馈。XT 850F的强大功能集旨在最大限度地提高任何吞吐量环境的吞吐量。XT 850F具有一套交互式远程支持功能,允许用户在调整其设置时从远程支持人员中受益。此功能旨在减少解决技术问题的时间,并通过允许用户快速调整机器设置以适应不断变化的过程条件来确保最佳吞吐量。ASML Twinscan XT 850F是一种多功能晶片步进器,具有强大的工艺控制技术,结合高精度、高吞吐量和远程支持能力,使其成为先进半导体器件制造光刻的理想工具。
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