二手 ASML Twinscan XT2 1700FI #293620719 待售
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ID: 293620719
晶圆大小: 8"
优质的: 2007
Stepper, 8"
Notch wafer
CYMER XL 360 Laser
DNS / DAINIPPON RF 300/200 Wafer track interface
Chemical sampling port
Water cooling for electric cabinet
Universal pre-alignment
Mark sensor
Integrated reticle library
IRIS Reticle, 6"
Recipe creator
EFESE
Polarization metrology
Image tuner
Grid mapper
Dose mapper
AGILE
Lithocruiser
Carrier interface: 25-Wafer open cassette kit
Oiu / Reticle: Right configuration
Power supply: 400 V
2007 vintage.
ASML Twinscan XT2 1700FI是为高产芯片生产而设计的领先晶圆步进器。它能够每小时生产高达4.25毫米的晶片，最大线宽为350 nm。它的晶片鳞片范围从200毫米到450毫米，允许最佳生产广泛的芯片阵列。XT2 1700FI是围绕ASML AArrid™暴露控制设备构建的，它允许用户准确控制剂量分布和对准。该系统使用专有的快速扫描算法,从而减少了所需的曝光时间。其较小的扫描尺寸使线条更细,边缘敏锐度更好。曝光功率也是可调的，允许用户以严格的精度生产芯片。XT2 1700FI还带有一个有源误差补偿单元，它减少了加工变化和振动引起的错位。这台机器估计将减少多达25%的误配。该XT2 1700FI还采用了ASML质量保证工具（QAS）,旨在自动收集和报告数据,以便进行反馈控制。此资产允许芯片制造商从生产数据中学习以优化生产过程。XT2 1700FI设计用于洁净室环境,能够在285 nm至455 nm波长范围内运行。它还配备了灵活的预对齐子系统，可以补偿阶段错误和错位，同时还支持多模具应用。XT2 1700FI是高度可靠的,平均故障间隔时间（MTBF）为1,000,000次。而且，它是高度可控的，主动枯萎覆盖率为94.1%，Q值为5.04。最后,ASML TWINSCAN XT 2 1700 FI提供了广泛的特性和功能,使其成为高收益芯片生产的可靠且经济高效的选择。
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