二手 ASML XT 1250 #9293667 待售

ASML XT 1250是一种先进的晶圆步进器，旨在为微电子器件制造提供高度精确的光刻技术。它是一种扫描显微镜，能够以0.25微米的分辨率成像晶片。步进器专为290nm UV短波长范围而配置，使其能够高精度地成像甚至纳米结构特徵。ASML XT1250是一个双阶段系统,具有主基础阶段和次要子阶段。这种组合允许系统在快速扫描过程中获取和保持稳定,同时实现清晰成像的模式。主基级依靠压电进行运动控制，而子级则利用闭环反馈电动机进行精确定位。XT 1250还具有主动设备对准功能，以纳米精度检查相邻设备的位置。这台机器由一台基于激光的Zernike干涉仪提供动力，能够在降低的曝光水平下进行极其精确的成像和制图。这种低功率激光器消除了由于热漂移而产生成像伪影的可能性。此外,步进器还具有原位晶圆成像功能,允许实时检测成像错误,并允许用户进行相应调整。XT1250还具有先进的过程控制和光学软件,为用户提供有关透镜行为、粒度分布和成像分辨率的信息。此外，该软件允许用户调整关键参数，如焦点和数值孔径，以优化工艺性能。最后，该系统配备了一系列安全功能，如物体检测和眼睛保护，以防范潜在危害。总体而言,ASML XT 1250是一款功能强大的晶圆步进器,具有多种功能,可确保精确的成像和高级工艺控制。