二手 ASML XT 1250D #293624486 待售

ASML XT 1250D是一种用于半导体器件制造的晶圆步进器.它是一个4轨设备，能够超精细的特征处理。系统使用LaserRay Reflex 3激光源，能够提供250 nm至1700 nm的曝光，以及405 nm波长的集成高灵敏度成像头。该单元的200毫米x 300毫米矩阵可以处理像素大小低至0.2微米的高分辨率图像，允许先进半导体元件的亚微米图样化。该机还包括智能重迭控制、模式匹配、场匹配等先进设计特点，以确保成像头在半导体晶片上的精确放置。此外,光束轨迹和焦点控制工具允许精确放置和聚焦成像光束,这对于正确打印最佳几何形状至关重要。XT 1250D利用最先进的热成像仪增强对比度分辨率，最高工作温度可达370 °C。此外，该资产还具有各种安全功能，包括微剂量、高光束电流监测器、实时故障监控和5级安全联锁模型。此外，该设备还具有高精度的舞台，具有可重复性和可重复性。光学对准显微镜用于定位精度和验证，有助于确保晶圆为正方形并以舞台为中心。此外,系统最多可配置3个自动化机器人,从而实现更快的流程吞吐量和更好的机器资源利用率。最后,随着对精确步进性能和可靠性的日益增长的需求,ASML XT 1250D通过其专有通信链路满足了这些需求,该链路经过优化以提供实时单元监控。机器还可以与内部网络集成，允许数据分析和远程过程监控。总体而言，XT 1250D为微加工和半导体器件生产提供了高效、高精度的环境。