二手 ASML XT 1250D #9192070 待售

ASML XT 1250D是半导体工业中用于光刻的顶级晶圆步进器。XT 1250D是一种激光成像系统，能够产生具有极高细节和均匀性的电路。ASML XT 1250D中使用的激光器是一种大功率氟化氙（ArF）准分子激光器，最大额定功率为200瓦。这使得机器能够以不到3纳米的分辨率产生清晰一致的图像。XT 1250D还可以支持多种面膜材料和抗蚀剂，有机物和无机物。ASML XT 1250D配备了一个X-Y级和多达四个偏转器光学器件，使这个晶片步进器能够精确定位和暴露目标晶片。多亏了这些光学器件,曝光场最大可达21英寸。该机器还支持自动对准五个独立和不同的摄像机，以确保晶片在X-Y阶段的精确对准。XT 1250D是一个可靠、经济高效的成像系统，但真正让它脱颖而出的是其成像质量。ArF激光器具有聚焦光束点直径（83 λ），使晶片步进器达到最佳5nm的临界尺寸（CD）精度。此外,ASML XT 1250D非常高效,每小时的吞吐量高达2,800个晶圆,单个晶圆的周期时间不到6秒。XT 1250D设计为用户友好,与行业标准的监管控制和数据采集（SCADA）系统兼容。这使得将机器整合到生产线或任何其他类型的光刻工艺中变得容易。总而言之,ASML XT 1250D是一种顶级的晶片步进器,可提供出色的成像精度、可靠性和令人印象深刻的吞吐量,以及非常实惠的价格标签。由于这些原因，它是生产极高精度和细节的电路的最佳选择之一。