二手 ASML XT 1250D #9391534 待售

ASML XT 1250D晶片步进器是一种超高性能的光刻设备，旨在加快微电子制造过程。它采用短波长248 nm KrF激光投影系统，能够产生分辨率高达0.13微米的印刷图像。该机将满载扫描仪的成像性能与临界维度原子力显微镜的速度相结合。该机器的设计目的是便于在集成电路、MEMS和光电元件上产生电路模式，其分辨率可降至0.13微米，同时保持一致的可靠性和吞吐量。它配备了5轴机器人电动晶片级和二维硅标线罩级。遮罩级可以以15.2毫米/秒的速度在两个轴上移动，晶圆级可以以11.2毫米/秒的速度在五个轴上移动。晶圆步进器还设有带温度控制、空气过滤系统和有源氮系统的车载清洁室。该机的光学机器包括光学激光源、冷凝器光学相机和成像镜头。此外，机器的场内缝合能力使它能够在不同的基板上形成图样。XT 1250D晶片步进器具有先进的稳定和对准功能,可确保晶片扫描和曝光过程中的重复性和精确对准精度。它还具有改进的纳米分辨率传感器，可以测量步高，以及对准和关键尺寸特征。此外,步进器还具有高精度计量工具,可容纳高长宽比的金属线条和触点。ASML XT 1250D晶片步进器是一种强大而高效的光刻工具，可用于集成电路、MEMS和光电元件的各种要求。它提供卓越的成像性能，清洁的环境和可靠的吞吐量为大容量生产电路模式的晶片。这台机器非常适合半导体、MEMS和光电行业的行业和研发机构。