二手 ASML XT 1400 #9259958 待售

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製造商
ASML
模型
XT 1400
ID: 9259958
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
ArF Scanner, 12" Process: Lithography SMIF System SMIF Loadport Handler system: Wafer handing robot Reticle handler Process chambers: Exposure stage Measurement stage Reticle stage CYMER Laser MDC LCWC MCWC WSRC RSRC ACC + ENTRGERIS Filter unit Projection lens 2006 vintage.
ASML XT 1400是半导体工业中使用的晶片步进器,用于硅片上高级器件的精确阵列。该机器提供了现场可用的最高吞吐量,能够在单个配方中提供3,000个0.25微米的曝光层。它保证了每一个暴露的掩模的总精度,最高的覆盖通量为15纳米。XT 1400由通量输出较高的全面低压照明方桉驱动,意味着功耗最小化和最大模式保真度。其曝光系统还具有先进的软件套件和光学子系统,以确保最大限度地提高设备阵列的效率。配备高度优化的掩码处理算法和层优化方法,ASML XT 1400可以在光刻周期时间内提供最佳效果。该机设计用于不间断晶片阵列,吞吐量率最高,具有自动孔径处理系统,可根据正在制造的设备的大小进行调整。此外,XT 1400还采用了具有无源冷却和温度补偿功能的强大热配置,以确保层均匀性和零漂移焦点。除了先进的光刻系统外,ASML XT 1400还利用任意位置或方向的多根光束,使制造达到全新的高度。它的下一代自动对齐工具允许将暴露的晶片与性能可重复性出色的原始掩模层进行比较。XT 1400是目前市场上性能最高的步进工具,它以无与伦比的吞吐量、可靠性和准确性提供下一代产品。这台机器具有在设备制造厂建立生产线的能力,否则是不可能的。
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