二手 ASML XT 1400 #9304319 待售

ASML XT 1400是一种光学步进器，用于半导体光刻。专为深紫外线（DUV）应用而设计。步进器可以精确地对尺寸达200毫米的晶片进行阵列设计，是一种可靠、高效的面罩和标线生产工具。该机具有较高的吞吐量，旨在提高设备制造的速度和质量。因此，它减少了上市时间，提高了晶圆制造的产量。步进器有两个阶段；第一级用于掩模对准，第二级用于晶圆对准。它在整个图像场上的分辨率为0.8微米。XT 1400具有很大的视场，最大可达1010 mm，可以处理更大的对象。它拥有高效的机械设备，可以产生小于0.7微米的覆盖精度。这允许精确的模式和更高的收益率。它还有一个先进的接触控制系统，减少过程参数的可变性，并在接触场上保持均匀剂量。步进器具有低失真扫描仪，有助于最大程度地减少图像的散焦和失真。它还可以与抗蚀剂涂层模块和旋转处理器结合使用，这有助于降低成本和提高效率。它还具有用于聚焦和照明稳定的稳定单元，以确保结果一致和准确。ASML XT 1400具有高分辨率、高吞吐量、高精度的成像能力.它结合了先进的光学、力学机器和环保的照明工具，使其成为高精度图样制作的完美工具。该机器易于使用和维护，其可靠的性能确保晶圆产量最大化。