二手 ASML XT 1400E #293825230 待售

ASML XT 1400E是为光刻应用而设计的高级晶圆步进器。它是一种真空级晶圆步进器，在独特的模块化平台上操作，用于高精度暴露软X射线和电子束掩模。这种高度适应性的设备能够容纳各种类型的基板，并通过优越的对齐和工艺重复性降低工艺要求。XT 1400E具有特殊的X射线掩蔽系统,除了旋转和倾斜之外,还允许掩蔽卡盘的横向运动。这使掩码能够在单元内进行最佳对齐。此外，机器沿X和Y轴提供了广泛的加速度和减速，使面罩能够快速和精确地移动。步进器还具有自动对准和对焦控制、高位置分辨率、精确点对准等特点。步进器利用由高性能运动控制工具驱动的6轴电磁运动设计。具有介电场发射电子枪和精确点控功能，可实现快速、精确的掩模对准。它还配备了先进的视觉引导资产，可以检测和检测口罩和基板形状的变化。ASML XT 1400E晶片步进器在基准配置和生产配置中都可用,它们是为低批量或大批量生产而设计的。该模型还提供了多种光学和软件，可以根据具体的应用需求进行定制。由于设备的进步，XT 1400E成为许多光刻应用的首选晶圆步进器。它为提高掩模利用率、提高吞吐量和缩短生产周期提供了更高的准确性和可重复性。因此,对于需要提高精度和高分辨率的应用程序,这是最佳选择。