二手 ASML XT 1400E #9289672 待售

ASML XT 1400E是半导体光刻领域的领导者ASML制造的顶级晶圆步进器。XT 1400E是一种最先进的机器，为微电子制造提供精确的微光刻技术。该机器具有许多先进的功能,使其非常适合高精度的制造任务,例如在晶圆、电路阵列和其他元件上显示光阻以创建导电层。ASML XT 1400E设计为执行单步光刻系统,利用光源、透镜、分束器和消光快门的组合,创建从光掩模或标线到晶圆或测试基板的图样。该机配备了一系列光源，包括KrF和ArF准分子激光器，可用于创建亚微米分辨率图像。步进器还可以与光学相干断层扫描系统结合使用，允许用户光学检查对于显微镜来说太小的特征。XT 1400E还配备了灵敏精密光束对准和调整工具（SPAT），使机器能够精确聚焦和移动步进头穿过晶圆。SPAT使用激光干涉测量和反馈系统来提供暴露特征的确切位置，以及线宽等其他参数。这使机器能够产生公差在1nm以下的特征。ASML XT 1400E还配备了计算机自动化操作（CAM）功能,允许用户从数据库中保存和运行操作参数。该机还兼容了一系列的光掩模，如石英、聚碳酸酯和金属掩模。此外,用户还可以从包括Pro-Lithogen套件在内的各种图像格式中进行选择,从而使用户能够处理各种各样的任务。XT 1400E设计速度快、效率高,曝光时间可达20秒。该机在设计时考虑了灵活性，与一系列预定义的口罩、光学系统和步进头兼容，使其适用于一系列应用。总之，ASML XT 1400E是为微电子制造提供精确高效微光刻技术的顶级晶圆步进器。它是一台前沿机器,具有多种功能,包括亚微米分辨率、自动操作以及一系列掩码和图像格式。