二手 ASML XT 1400E #9289674 待售
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ID: 9289674
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Lithography system, 12"
In-line
SMIF
Automation online component: SECE
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Inline flow: Right
CYMER XLA-165 Laser
LED
WL and RL:
WL: Type 3
RL Library: Left
PPD Type: PPD2
Lens and Illumination:
BMU Type: Standard
Appeture INA:
Conv: 0.95
Annual: σAnn.(0.950/0.633)
Lens: PL Purge
Stage:
SCAN Speed: 500 mm/sec
Chuck: Pin chuck
Pin chuck: TIS Align.
2005 vintage.
ASML XT 1400E是一种晶圆步进器,是半导体制造工业中使用的一种光刻机,用于在制造过程中将图样转移到半导体晶圆上。它是一款先进的设备,旨在实现较高的吞吐量和准确性,同时实现较长的产品寿命。XT 1400E利用极紫外线(EUV)光刻技术在晶圆表面上绘制光刻层图样。这一过程利用快速脉冲的激光束在晶圆上创建光影图样,创建电路路径。它还使用压电致动系统,相对于光的图样快速准确地移动晶片。ASML XT 1400E具有创新的开放式体系结构设计,允许用户根据自己的特定需求快速定制光刻单元。例如,可以配置为支持多个步进头,使其能够满足多种光刻需求。它还包括用于过程控制、机器诊断和配方定制的内置功能。XT 1400E非常可靠,即使在恶劣的条件下,也能提供高吞吐量和可重复精度的良好记录。它具有强大的技术能力,满足了半导体光刻行业对吞吐量、刀具精度和精密控制的严格要求。资产可以安装在地板架上或嵌入群集模型中。ASML XT 1400E配备了一套诊断、预测性维护和状态监控工具,使机器能够实时监控。这还允许用户快速、准确地排除问题,并查明潜在风险并在影响生产之前予以纠正。该设备设计为易于使用和维护,具有自动加载、自动维护例程和直观用户界面等功能。XT 1400E是一种强大可靠的工具,可以帮助优化半导体制造工艺,提高产品质量。
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